分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
特長 | ●厚いウェーハなどの厚膜測定 (膜厚範囲:6~1300µm ※Si換算) ●高速測定でリアルタイムに研磨モニタが可能 ●装置組み込みからシステム仕様まで提案可能 ●主に半導体分野で活躍!ウェーハ基板の厚み評価のアプリケーションを提供 |
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特長 | ●厚いウェーハなどの厚膜測定 (膜厚範囲:6~1300µm ※Si換算) ●高速測定でリアルタイムに研磨モニタが可能 ●装置組み込みからシステム仕様まで提案可能 ●主に半導体分野で活躍!ウェーハ基板の厚み評価のアプリケーションを提供 |