分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

大塚電子株式会社 分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
特長●厚いウェーハなどの厚膜測定
 (膜厚範囲:6~1300µm ※Si換算)

●高速測定でリアルタイムに研磨モニタが可能

●装置組み込みからシステム仕様まで提案可能

●主に半導体分野で活躍!ウェーハ基板の厚み評価のアプリケーションを提供